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日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵

日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵

簡要描述:● NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

產品型號: NRL60A/90A/180A

所屬分類:真空泵

更新時間:2024-08-23

詳細說明:

日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵特長

● NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

● 低噪音、低振動

● 優良的耐腐蝕性

標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。

● 選購件

可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。

 

日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵用途

◆ 活性氣體(CVD、刻蝕等)

◆ 排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)

◆ 用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)

◆ 作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)

◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣



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